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电子级硼酸三甲酯 (TMB)

产品详情

一、分子式:B(OCH3)3                                 
二、分子量:103.92
三、理化性质
        无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/ml,沸点67~68℃。易燃,
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与有机溶剂混溶。
四、用途
        主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、
分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 技术指标
8.5N
纯度(%)min 9.99999995%
主含量(%)min 99.99 %
Cl-(ppb)max 50
水分(ppm)max 20
颗粒数≥0.3µm(p/ml)max
色度(APHA)max 5
 
 
六、包装
        容器:不锈钢瓶
        外包装:不锈钢箱柜
        规格: 5加仑(19L)

 

 
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