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电子级硼酸三乙酯(TEB)

产品详情
一、分子式:B(OC2H5)3                                
二、分子量:145.99
三、理化性质
        无色透明液体,有轻度气味,有显著的热稳定性。相对密度0.86kg/L,熔点-84.8℃,沸点118℃。易吸湿,遇水易分解成乙醇和硼酸。易燃。
四、用途
        主要用于晶圆制造过程中沉积生成硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 技术指标(ppb 分析项目 技术指标(ppb
纯度 99.999995%(7.5N)
Al   max 2 Mg   max 1
Ag   max 1 Mn   max 1
As   max 1 Mo   max 1
Au   max 1 Na   max 3
Ba   max 1 Ni   max 2
Bi   max 1 Pb   max 1
Ca   max 3 Sb   max 1
Cd   max 1 Sn   max 2
Co   max 1 Sr   max 1
Cu   max 1 Ti   max 2
Cr   max 1 Zn   max 2
Fe   max 3 主含量 min 99.99%
Ga   max 1 水分 max 40ppm
Hg   max 1 色度 max 5APHA
K   max 1 颗粒数≥0.5µm  max 20 p/ml
Li   max 1 /
 
六、包装
        容器:不锈钢桶             
        外包装:不锈钢箱柜            
        规格: 5加仑(19L)

 

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