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电子级反式-1,2-二氯乙烯(DCE)

产品详情
别名:Trans-LC, Trans-DCE
一、分子式:C2H2Cl2                                 
二、分子量:96.94
三、理化性质
        无色略带刺激气味液体,熔点-57℃,沸点48℃,密度1.256g/ml。易燃,其蒸气与空气可形成爆炸性混合物。与氧化剂能发生强烈反应。与酸碱需隔离存放。
四、用途
        高纯度氯源,主要用于晶圆制造过程中加快硅片氧化和清洗炉管。是半导体、太阳能、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。当CVD使用温度低于800℃时,反式-1,2-二氯乙烯是目前已知的最佳氯源。DCE在高温与氧气反应分解生产HCl、CO2等。产生的HCL与金属原子反应后被气体带走,达到清洗管道的目的。
五、质量指标

分析项目

技术指标
7.5N
纯度(%)min 99.999995
Si(ppb)max 0.9
B(ppb)max 1.0
P(ppb)max 0.9
酸度(ppm)max 5
水分(ppm)max 15
主含量(%)min 99.97
颗粒数≥0.1μm(p/ml)max 5
颗粒数≥0.2μm(p/ml)max 3
颗粒数≥0.5μm(p/ml)max 1
色度(APHA )max 10
 
六、包装
       容器:镀膜高纯石英源瓶
       外包装:容器外套厚质PVC胶袋,PE专用箱内置缓冲海绵、PVC内筒承装源瓶,外套铁桶
       规格:500ml、1000ml、1500ml、19L


 

   
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