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正硅酸四乙酯(TEOS)

产品详情

一、分子式:Si(C2H5O)4                          
二、分子量:208.33
三、理化性质
        无色透明液体,熔点-77℃,沸点168.5℃,密度0.9346g/ml。它对空气较稳定;微溶于水,在纯水中水解缓慢;在酸或碱的存在下能加速水解作用。
四、用途
        主要用于晶圆制造过程中的化学气相沉积(CVD)制程,用于生成二氧化硅薄膜。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的电子化学品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
五、质量指标

分析项目

技术指标 技术指标
8N 9N
纯度(%)min 99.999999% 99.9999999%
主含量(%)min 99.99% 99.99%
硼(B )ppb max 0.5 0.5
Cl-(ppm) max 0.5 0.05
水分(ppm)max 5 5
乙醇含量(ppm)max 3 3
颗粒数≥0.1µm(p/ml)max 50 50
颗粒数≥0.2µm(p/ml)max 30 10 
颗粒数≥0.3µm(p/ml)max 20
颗粒数≥0.5µm(p/ml)max 10
颗粒数≥1.0µm(p/ml)max 3
色度 <10APHA <10APHA
 
六、包装
        容器:不锈钢瓶
        外包装:不锈钢箱柜
        规格:5加仑(19L)
 

 

   
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