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电子级亚磷酸三甲酯 (TMP)

产品详情

一、分子式:P(OCH3)3                                
二、分子量:124.08
三、理化性质
        无色液体,有刺激性臭味,熔点-78℃,沸点111~112℃,密度1.05g/ml。易燃,不溶于水。遇水缓慢分解为磷酸和甲醇。
四、用途
        主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)的磷源。是半导体、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 技术指标 技术指标
8.5N 9N
纯度(%) min 9.99999995% 9.99999999%
主含量(%)min 99.99% 99.99%
硼(B)(ppb)max 50  50 
Cl- (ppb)max 50  50 
水分(ppm)max  25   25 
颗粒数≥0.2µm(p/ml) max 10 10
颗粒数≥0.3µm(p/ml) max 7 7
颗粒数≥0.5µm(p/ml) max 5 5
颗粒数≥1.0µm(p/ml) max 1
色度(APHA)max 5 5
 
 
六、包装
        容器:不锈钢瓶
        外包装:不锈钢箱柜
        规格:5加仑(19L)
 

 
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