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电子级磷酸三甲酯 (TMPO)

产品详情
一、分子式:PO(OCH3)3                               
二、分子量:140.08
三、理化性质
        无色液体,有水果味,熔点-46℃,沸点197℃,密度1.20g/ml。易溶于水和乙醚,难溶于乙醇。遇明火、高热可燃,遇热分解产生氧化磷有毒烟雾,遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
        主要用于晶圆制造过程中沉积生成磷硅酸玻璃(PSG)和硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb)
纯度 99.99999%(7N)
Al   max 3 Li    max 1
Ag   max 1 Mg   max 1
As   max 10 Mo   max 1
Au   max 1 Mn   max 1
Ba   max 1 Na   max 2
Be   max 1 Ni   max 1
Bi   max 1 Pb   max 1
Ca   max 3 Sb   max 1
Cd   max 1 Sn   max 1
Co   max 1 Sr   max 1
Cu   max 1 Ti   max 1
Cr   max 1 V    max 1
Fe   max 3 Zn   max 2
Ga   max 2 Zr   max 1
Hg   max 1 主含量 (%) min 99.98%
K    max 1 色度(APHA)max 10
 
六、包装
        容器:不锈钢瓶             
        外包装:不锈钢箱柜               
        规格:5加仑(19L)

 

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