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电子级磷酸三乙酯(TEPO)

产品详情
一、分子式:PO(OC2H5)3                          
二、分子量:182.15
三、理化性质
        无色透明液体。易溶于乙醇,溶于乙醚、苯等有机溶剂,也溶于水。熔点-56.4℃,沸点215℃,密度1.07kg/L。正常状况下稳定,与遇强碱、强氧化剂起剧烈反应。
四、用途
        晶圆制造过程中沉积生成磷硅玻璃(PSG)和硼磷硅玻璃(BPSG)。是半导体、分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
五、质量指标
分析项目 技术指标(ppb) 分析项目 技术指标(ppb)
纯度 99.999995%(7.5N)
Al   max 2 Mo   max 1
Ag   max 1 Na   max 4
As   max 3 Ni   max 1
Au   max 1 Pb   max 1
Ba   max 1 Sb   max 1
Be   max 1 Sn   max 1
Bi   max 1 Sr   max 1
Ca   max 3       Th   max 1
Cd   max 1 Ti   max 2
Co   max 1 U   max 1
Cu   max 1 V   max 1
Cr   max 1 Zn   max 3
Fe   max 3 Zr   max 1
Ga   max 1 水分  max 25ppm
Hg   max 1 色度 max 10APHA
K    max 1 主含量 min 99.97%
Li    max 1 颗粒数≥0.3µm  max 40 p/ml
Mg   max 1 颗粒数≥0.5µm  max 10 p/ml
Mn   max 1 颗粒数≥1.0µm  max 3 p/ml
 
六、包装
        容器:不锈钢瓶           
        外包装:不锈钢箱柜               
        规格:5加仑(19L)

 
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